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        康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100

        • 更新時間:2021-04-14
        • 瀏覽次數:3449

        康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100
        美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀,為精密部件的制造商提供了業界**的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。

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         康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100

        平面度儀測量多種不同指標:  
        ?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓;完整的分析系統:
        ?三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

        康寧Corning Tropel FlatMaster平面度儀應用領域:
        ?實現單個或多個平面的光學非接觸一次性測量;
        ?適用多種類型材料:半導體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料;
        ?適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/**化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰;
        ?適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面;

        美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀,為精密部件的制造商提供了業界**的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。可以實現自動、快速、準確、穩定的測量,超過20年的工業應用,幾百臺的裝機量。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數進行精密測量。

        平面度儀可測量技術參數:

        精度50nm (2.0μ″)
        重復性15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
        分辨率5nm (0.2μ″)
        可測量工件尺寸5mm-100mm
        動態測量范圍>100um
        測量數據點230,000 
        測量時間5秒 
        電源~220V 50Hz 

         

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